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晶體爐上傳動部件2
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詳情

籽晶在爐內(nèi)有效行程 2800mm
 上 傳 動 籽晶轉(zhuǎn)速范圍 2.0~30.0rpm


慢速:0.20~8.00mm/min

籽晶拉速 快速:>500mm/min

晶升速度精度 <2%
動 態(tài) 精 度 晶轉(zhuǎn)速度精度 <2%

晶升爬行 升速0.5mm/min≤0.01mm

籽晶擺動量 晶轉(zhuǎn)高轉(zhuǎn)速<2mm

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